金融界2025年6月17日消息，國(guó)家知識(shí)信息顯示，華虹集成電路（成都）有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“對(duì)細(xì)微顆粒物造成的光刻機(jī)掩模版形變的監(jiān)控方法”的，公開(kāi)號(hào)CN120161667A，申請(qǐng)日期為2025年03月顆粒機(jī) 。

摘要顯示，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N對(duì)細(xì)微顆粒物造成的光刻機(jī)掩模版形變的監(jiān)控方法，包括：步驟一，在掩模版兩側(cè)由上至下設(shè)置六對(duì)水平對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；步驟二，計(jì)算所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記X和Y方向的線性形變，每對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相應(yīng)得到四組線性形變數(shù)據(jù)；步驟三，利用實(shí)施步驟二得到的數(shù)據(jù)計(jì)算掩模版兩側(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記線性形變的非對(duì)稱變化量；步驟四，根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記線性形變是否出現(xiàn)非對(duì)稱變化量的跳變來(lái)判斷掩模版是否產(chǎn)生由細(xì)微顆粒物造成的非線性水平形變顆粒機(jī) 。根據(jù)本申請(qǐng)可以有效發(fā)現(xiàn)細(xì)微顆粒物造成的光刻機(jī)掩模版形變，提升產(chǎn)品良率。

天眼查資料顯示，華虹集成電路（成都）有限公司，成立于2023年，位于成都市，是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)顆粒機(jī) 。企業(yè)注冊(cè)資本2280000萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，華虹集成電路（成都）有限公司參與招投標(biāo)項(xiàng)目119次，信息2條，此外企業(yè)還擁有行政許可83個(gè)。

來(lái)源：金融界