金融界2025年6月17日消息，國家知識(shí)信息顯示，華虹集成電路（成都）有限公司申請一項(xiàng)名為“對細(xì)微顆粒物造成的光刻機(jī)掩模版形變的監(jiān)控方法”的，公開號(hào)CN120161667A，申請日期為2025年03月
